多功能真空规校准的分析

利用动态比对法校准高真空规管，方法为利用稳压室建立气体的稳压源，通过高精度的微调阀将气体不断地注入校准室，同时保持分子泵机组对真空校准室的抽气，并通过微调阀调节气体的流量，使校准室真空度维持在校准的真空度范围内。为了保证校准室气流的稳定，校准室入口设计有散流板进行散流，双球室之间通过小孔板稳定气体气流。该方法适用于1×10-1 Pa～1.0×10-4 Pa 范围的规管校准。一般要求校准室的工作本底真空度优于1×10-6 Pa。标准规采用布鲁克斯的GP370 真空规，同时通过四极质谱计获得的离子流的参数，换算出相应的分压力值。微调阀采用安捷伦的面密封阀。